Rapport d’évaluation FR

LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Type : Rapport d’évaluation des unités de recherche

Campagne d'évaluation : 2014-2015 (vague A) - Publié le : 29/05/2015

Établissement(s) concerné(s) : Université Joseph Fourier - Grenoble - UJF , Centre national de la recherche scientifique - CNRS

Domaine(s) disciplinaire(s) de recherche : Sciences et technologie (ST) ; ST5 Sciences pour l'ingénieur ; ST2 Physique

Domaine(s) scientifique(s) : 8 - Sciences pour l'ingénieur ; 2 - Physique

Nom des équipes de l'unité : Advanced Lithography ; Micro Nano Technologies for Health ; Nanomaterials and Integration ; Plasma processes for Nanoelectronics and emerging devices

Mot(s) clé(s) : lithographie ; micro-nano technologies ; santé ; gravure ; plasma ; nanomateriaux

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Rapport Hcéres - LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

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