Evaluation reports
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LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
Type: Rapport d’évaluation des unités de recherche
Evaluation campaign: 2014-2015 (group A)
- Published on: 29/05/2015
Institution(s) concerned:
Université Joseph Fourier - Grenoble - UJF
, Centre national de la recherche scientifique - CNRS
Disciplinary research field: Science and Technology (ST) ; ST5 Engineering Science ; ST2 Physics
Scientific field(s): 8 - Sciences pour l'ingénieur ; 2 - Physique
Name of unit teams: Advanced Lithography ; Micro Nano Technologies for Health ; Nanomaterials and Integration ; Plasma processes for Nanoelectronics and emerging devices
Keywords: lithographie ; micro-nano technologies ; santé ; gravure ; plasma ; nanomateriaux